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国家知识产权局信息数据显现，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司请求一项名为“一种用于ESC晶圆的加热器温度操控办法及体系”的专利，公开号CN121326043A，请求日期为2025年12月。
专利摘要显现，本发明触及半导体制作技术领域，公开了一种用于ESC晶圆的加热器温度操控办法及体系。所描绘的办法包含：获取原始温度数据与原始运转参数数据并处理，得到规范实时状况向量；依据所述规范实时状况向量辨认得到多区域浸透引起的热量搅扰形式；依据所述热量搅扰形式和所述规范实时状况向量猜测得到未来温度演化趋势；依据所述未来温度演化趋势确认大局热量解耦计划；对所述大局热量解耦计划进行校验与参数解析处理，得到基准操控参数序列；获取实时温度数据，根据所述基准操控参数序列与所述实时温度数据生成终究温控履行信号并履行。本办法处理了因热浸透效应导致的温度散布不均及操控滞后的技术问题。
天眼查资料显现，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司，成立于2011年，坐落深圳市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本1176.47万人民币。经过天眼查大数据分析，深圳市圣柏林橡塑电子有限公司参加招投标项目1次，产业线条，此外企业还具有行政许可6个。
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